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          DLC涂層加工的顯微結構

          發布日期:2021年08月18日     瀏覽次數:146
          導語: 在DLC涂層的眾多種類中,有一種較為常見的Me-DLC涂層,長久以來在工業領域有著廣泛的應用。

                在DLC涂層的眾多種類中,有一種較為常見的Me-DLC涂層,長久以來在工業領域有著廣泛的應用。

            Me-DLC涂層具有很低的內應力,因此,該種涂層具有很好的涂層結合力。Me-DLC涂層中可以加入多種元素,如Ti、Nb、Ta和B等,但目前最常用的方法是加入鎢元素(W),形成W-DLC(也可以是W-C:H或者a-C:H:W)。因為與其他元素相比,W-DLC涂層具有相對較低的摩擦系數(通常在0.1~0.2,干式),從而具有很好地耐磨損性能,以及良好的耐滾動接觸疲勞性能。豪澤公司生產的此類Endurance涂層典型的沉積溫度低于160℃,可以在不軟化熱敏性鋼(如100Cr6)的前提下完成涂層。目前,Endurance涂層一個典型的應用是涂層高規格滾柱軸承。

           

          含氫DLC涂層加工

            DLC類涂層當中最普遍的是通過各種PA-CVD(等離子輔助CVD,通過射頻、微波或其他等離子激活方式)制備的含氫類DLC。含氫類DLC涂層具有相對高的顯微硬度(一般在2000~3000HV)和極低的摩擦系數(0.05~0.15,干式)。通過PA-CVD方法制備的含氫DLC涂層表面粗糙度非常低。最近,它們已經成為汽車引擎零部件,如梃桿、活塞桿和各種柴油噴射系統零部件涂層的工業標準。

           

          無氫類DLC涂層加工

            最近,另一類DLC涂層,ta-C涂層正在越來越引起人們的興趣。因為此類涂層具有非常高的硬度及非常好的耐摩擦性能。另外,無氫類ta-C涂層結合某些潤滑劑能夠顯著減少摩擦,例如在尼桑汽車的發動機氣閥機構上就有此類技術的應用。此類DLC涂層一般通過石墨靶的電弧蒸發來獲得。涂層的特點是具有非常高的硬度值,一般在4000~7000HV,并且幾乎不含氫。所以常把此類涂層叫做無氫類DLC涂層。在ta-C類DLC涂層中,碳原子以類似水晶體4晶點結構(四面體)為主體。



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